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ATE DFT 测试-Part1(Bscan,ScanDC,ScanAC)

时间:2025-07-15 19:16来源:半导体ATE测试 作者:ictest8_edit 点击:

 

在千万级晶体管的芯片战场上,DFT测试Pattern就是工程师的“诊断听诊器”。本文浓缩产线实战精华,聚焦ATE最核心的三大Pattern:

BSCAN(边界扫描)

ScanDC(静态缺陷检测)

ScanAC(动态时序攻防)

您将获得:

✅ 硬核检测范围 —— 从焊球微裂纹到时序违例的精准锁定

✅ 失效密码破译 —— 幽灵短路、时钟抖动的典型症状解剖

✅ ATE调试生存指南 —— ATE 调试步骤及技巧

1. BSCAN(Boundary Scan/JTAG):边界扫描的本质是测试DUT I/O 的物理连接性,其失效主要集中在bonding和封装层面。

· 检测范围:

DUT IO Pad的物理连接性(开路/短路)

测试硬件板级互连故障(PCB走线缺陷)

DUT 内部TAP控制器状态机完整性

BSDL 模型与物理实现的匹配性

· 常见失效模型:

Bonding失效:DUT内部键合金线断裂--OS Fail,DUT I/O PAD焊球虚焊(TDO 无响应)
 
Pad 污染:ESD 损伤,氧化导致的I/O 泄露--OS,IIH/IIL Fail

时钟偏移:TCK/TMS信号时序违例(Setup/Hold违规)--常温 Vmax 设定下Bscan pattern 仍Fail

BSDL错误:DFT pattern生成时虚拟I/O 未声明或映射错误--Relax Power & Test Period & VIH/L & VOH/L 后 Bscan pattern 仍稳定Fail

· ATE 调试步骤及技巧:


 

检查该DUT OS及传统DC 测试项(IIH/IIL,VOH/VOL,IDD.etc)测试结果

逐一Relax 该测试项ATE Power , Test Period  及VIH/L,VOH/L Setting观察测试结果

确认 DFT Pattern Setting 已成功进入test mode 

 对失效IO 进行Pin Margin Test.

 保证最佳Pin Margin Setting 后抓取Timing 波形并根据Timing 波形挪动 Drive edge 和Recive edge setting

 修改Pattern 增加 TAP IR/DR TMS wait time

 修改test clock duty cycle setting

 对比不同温度下Pattern 失效规律

 抓取 Fail Cycle 同DFT 团队协作进行pattern Dignostic。

2. Scan DC(Stuck-at Test):Scan DC 测试是检测DUT 内部结构缺陷的"显微镜",是Scan AC Pass 的前提和基础,其失效主由芯片制造时内部电迁移引起电阻动态变化导致。

· 检测范围:

组合逻辑固定型故障(DFT 链路被固定钳位在0/1 即 Stuck-at-0/1)

待测Function 扫描链结构性缺陷(扫描链断裂/短路)

· 常见失效模型:

整链失效:扫描链断裂(OS & 传统DC 测试 & Bscan 测试Pass某功能模式下Scan DC Pattern Fail,怀疑该功能模式下TDI→TDO路径中断)

局部失效:特定扫描单元故障(OS & 传统DC 测试 & Bscan 测试Pass

共用I/O的不同module均出现Scan DC Pattern Fail,怀疑特定I/O 连接的扫描单元出现故障

随机散点:组合逻辑固定故障(OS & 传统DC 测试 Pass, Scan DC Fail Pattern 无I/O共用特性,怀疑Scan 链路组合逻辑有固定缺陷)

· ATE 调试步骤及技巧:

检查该DUT OS及传统DC 测试项(IIH/IIL,VOH/VOL,IDD.etc)测试结果

逐一Relax 该测试项ATE Power , Test Period  及VIH/L,VOH/L Setting观察测试结果

确认Scan DC Pattern 已成功进入test mode

对失效IO 进行Pin Margin Test.

保证最佳Pin Margin Setting 后抓取Timing 波形并根据Timing 波形挪动 Drive edge 和Recive edge setting

 修改Pattern 增加 TAP IR/DR TMS wait time

 修改test clock duty cycle setting

 运行对应Chain Pattern 缩小Scan DC 检测范围

 抬高Fail Pattern 电压设定,暴露DUT电阻性开路

 抓取Fail cycle 反馈给研发同事,使用Clock Strobe技术定位链断裂点

3.Scan AC(at-Speed Test):Scan Ac 的失效模型与产品良率强相关,需特别关注test clock 与 DFT clock 的协同性,对于跨时钟域路径DFT pattern在生成时,务必需检查OCC模块的切换时序已被测试覆盖。

· 检测范围:

时序逻辑的传输延时(Transition Delay)

时钟域交叉(CDC)路径同步失效

关键路径建立/保持时间违例

· 常见失效模型:

路径依赖失效:仅特定向量序列失效(仅特定模块Scan DC Scan AC Fail,Split Scan AC pattern 后该特定模块的某小部分检测 AC Chain pattern也Fail )

温度敏感失效:高温下Setup违例,低温下Hold违例(相同Pattern和Steeing下常温该Scan AC pattern可Pass高温下常见Setup Pattern 失效,低温下常见Setup pattern Pass 但Scan AC pattern 失效)
 
时钟偏斜(Skew):Launch与Capture时钟相位失配(Scan DC PassScan AC 出现大幅Fail)

· ATE 调试步骤及技巧:

确认同功能模块Scan DC pattern Pass/Fail情况

Relex test Period 进行Scan AC测试

对失效Pattern 进行Pin Margin Test.

保证最佳Pin Margin Setting 后抓取Timing 波形并根据Timing 波形挪动 Drive edge 和Recive edge setting

Burst Setup pattern & Scan AC pattern 排除因测试过程中clock 信号中断导致的Setup 状态丢失

修改test clock duty cycle setting

Split pattern生成最小化路径测试向量集,减少因内部IR Drop 导致的Scan AC Pattern Fail

 Shmoo Plot分析,绘制电压/频率/温度三维失效边界

三温下检测Scan AC Setup pattern & Scan pattern Pass/Fail 情况。

抓取Fail cycle 反馈给研发同事进行Dignostic 确认具体失效模块。

 
 
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